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516454 產品規格書
516454 產品規格書
產品信息
氣浮型模塊式主動減振器 模塊尺寸369×388×188mm

產品編號:516454
產品描述
模塊式設計,能適用于更多需要安裝配置的場合,外置控制箱。支撐分為彈簧型和氣浮型,彈簧型主動減振適用于顯微鏡、光學設備、檢測設備等靜態設備。氣浮型主動減振采用地面振動前饋與反饋控制相結合,提供出色的隔振效果;運動前饋與速度反饋控制結合,有效消減平臺運動加速度,快速穩定平臺振動。適用于光刻機等運動平臺設備,消減大質量滑塊運動帶來的振動;半導體設備,及高精度、高速度加速度的精密運動平臺等。
規格參數
模塊尺寸 369×388×188mm
單個負載能力 700-1200kg
減振性能
傳遞率 ≤0db@2Hz,≤-0db@10Hz,≤-10db@20Hz
隔振范圍
減振器共振頻率 垂向:10-14Hz,水平:4-6Hz
調平方式 壓力伺服閥+位移傳感器
控制自由度 3軸6自由度
執行器 音圈電機
最大推力
穩定時間
電源 AC220V/50Hz
安裝方式 推薦等邊三角形、矩形布置
減振器工作氣壓 0.15-0.5MPa
機械硬限位 水平浮動±1.5mm,垂直浮動±0.6mm
重量 75kg
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