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526664 產品規格書
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產品信息
直線位移臺 臺面寬度80mm 行程150mm 真空專用 滾珠絲桿+直線導軌

產品編號:526664
產品描述
直線電機驅動平移臺適用于行程范圍在0-150mm之間的各項應用。 它結構堅固、性能卓越,廣泛應用于各種精密的科研、工業生產環節,其中包括 半導體晶圓檢查、微電子裝置的測試和組裝、抓取與放置、DNA定序或激光加工。 位移臺插電即用,控制器配備觸摸顯示屏方便調試與控制,接口豐富方便二次開發。

產品特點
(1) 行程覆蓋:50mm、100mm與150mm。
(2) 堅固的臺身設計可確保以150mm×150mm的最大行程進行可靠的XY軸組裝。
規格參數
行程 150mm
負載 10kg
分辨率 0.625μm
最小運動增量 1μm
單向重復定位精度(保證值) ±1μm
單向重復定位精度(典型值) ?±0.5μm
雙向重復定位精度(保證值) ±3μm
雙向重復定位精度(典型值) ?±1.5μm
準確度(保證值) ±15μm
準確度(典型值) ?±8μm
最大速度 10mm/s
使用場景 真空專用
直線度 15μm
平整度 15μm
Yaw-偏擺 30″
Pitch-俯仰 30″
持續推力 /
峰值推力 /
重量 4.8kg
適配控制器 528251/528252/528254/528255/528256/528257/528264
尺寸圖
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