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526674 產(chǎn)品規(guī)格書
526674 產(chǎn)品規(guī)格書
產(chǎn)品信息
直線位移臺 臺面寬度140mm 行程50mm 鋁合金 直線電機(jī)+交叉滾柱導(dǎo)軌

產(chǎn)品編號:526674
產(chǎn)品描述
直線電機(jī)驅(qū)動平移臺適用于行程范圍在0-50mm之間的各項應(yīng)用。 它結(jié)構(gòu)堅固、性能卓越,廣泛應(yīng)用于各種精密的科研、工業(yè)生產(chǎn)環(huán)節(jié),其中包括半導(dǎo)體晶圓檢查、微電子裝置的測試和組裝、抓取與放置、DNA定序或激光加工。 與絲杠驅(qū)動的平移臺不同,526674產(chǎn)品采用了中心驅(qū)動的高效3相同步無鐵芯直線電機(jī)作為驅(qū)動元件。
這種驅(qū)動系統(tǒng)不僅能以超靜音方式運行,還能提高系統(tǒng)的運行速度、加速度、響應(yīng)靈敏度等。 避免了電機(jī)電刷和傳動螺桿的磨損,無故障運行時間大于2萬小時。 內(nèi)部集成了高精度光柵尺作為位置反饋元件,控制器可對光柵尺信號進(jìn)行插補(bǔ)以提高系統(tǒng)的定位靈敏度、重復(fù)定位精度和準(zhǔn)確度。 位移臺插電即用,控制器配備觸摸顯示屏方便調(diào)試與控制,接口豐富方便二次開發(fā)。

產(chǎn)品特點
(1)140mm×140mm的長寬尺寸,可用于各種限制空間尺寸的環(huán)境中。
(2) 堅固的臺身設(shè)計可確保以50mm×50mm的最大行程進(jìn)行可靠的XY軸組裝
(3) 高分辨率的光柵尺編碼器反饋能以亞微米的可重復(fù)定位精度進(jìn)行精確定位。
(4) 超靜音位移臺,適用于實驗室環(huán)境與高性能要求的工業(yè)場所。
規(guī)格參數(shù)
行程 50mm
負(fù)載 10kg
分辨率 0.05μm(可選)
最小運動增量 0.2
單向重復(fù)定位精度(保證值) ±0.3μm
單向重復(fù)定位精度(典型值) ±0.2μm
雙向重復(fù)定位精度(保證值) ±0.6μm
雙向重復(fù)定位精度(典型值) ±0.3μm
準(zhǔn)確度(保證值) ±2μm
準(zhǔn)確度(典型值) ±1μm
最大速度 100mm/s
使用場景 /
直線度 10μm
平整度 10μm
Yaw-偏擺 20″
Pitch-俯仰 20″
持續(xù)推力 17.6N
峰值推力 88N
重量 2.1kg
適配控制器 528259/528260/528261/528262/528263/528265/528253
尺寸圖
關(guān)于產(chǎn)品

1. 產(chǎn)品圖均為渲染效果圖,僅供參考。

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