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526961 產(chǎn)品規(guī)格書
526961 產(chǎn)品規(guī)格書
產(chǎn)品信息
垂直升降臺 臺面寬度120mm 行程300mm 伺服電機

產(chǎn)品編號:526961
垂直升降臺
聯(lián)合光科提供各類升降臺,包括步進電機升降臺、直線電機升降臺、伺服電機升降臺,適用于行程范圍在0-300mm之間的各項應用。526952和526953 是兩款步進電機升降臺,升降臺的臺面平行于安裝面沿Z軸進行升降運動,它結(jié)構(gòu)堅固、性能卓越。526954和526955是兩款直線電機升降臺,它的臺面垂直于安裝面,沿Z軸進行升降運動,結(jié)構(gòu)簡單且擁有極佳的微步能力和位置穩(wěn)定性。升降臺廣泛應用于各種精密的科研、工業(yè)生產(chǎn)環(huán)節(jié),其中包括 半導體晶圓檢查、微電子裝置的測試和組裝、抓取與放置、DNA定序或激光加工。
位移臺插電即用,控制器配備觸摸顯示屏方便調(diào)試與控制,接口豐富方便二次開發(fā)。
規(guī)格參數(shù)
行程 300mm
負載 10kg
分辨率 0.1μm
最小運動增量 0.5μm
單向重復定位精度(保證值) ±0.3μm
單向重復定位精度(典型值) ±0.2μm
雙向重復定位精度(保證值) ±0.5μm
雙向重復定位精度(典型值) ±0.3μm
準確度(保證值) ±2μm
準確度(典型值) ±1μm
最大速度 100mm/s
直線度 10μm
平整度 10μm
Yaw-偏擺 15″
Pitch-俯仰 15″
持續(xù)推力 /
峰值推力 /
重量 9.1kg
關于產(chǎn)品

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