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750119 產(chǎn)品規(guī)格書(shū)

產(chǎn)品信息

WaveMaster? PRO Wafer 量產(chǎn)型波前測(cè)量?jī)x

產(chǎn)品編號(hào)：750119

WaveMaster?PRO 2 量產(chǎn)型波前測(cè)量?jī)x

WaveMaster? PRO系列產(chǎn)品是為了適應(yīng)波前質(zhì)量的大批量檢測(cè)的需求而研發(fā)的兩款儀器，可自行設(shè)置合格標(biāo)準(zhǔn)，并根據(jù)該標(biāo)準(zhǔn)自動(dòng)判定合格和不合格。WaveMaster? PRO 2和WaveMaster? PRO 2 reflex配備托盤(pán)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)單個(gè)小鏡片的大批量檢測(cè)。WaveMaster? PRO Wafer則可以對(duì)晶圓級(jí)鏡頭的波前進(jìn)行快速檢測(cè)。

應(yīng)用范圍：

生產(chǎn)線(xiàn)上的大批量鏡頭波前和表面面形的檢測(cè)

晶圓級(jí)鏡頭的波前檢測(cè)

規(guī)格參數(shù)

產(chǎn)品編號(hào)	750119
產(chǎn)品型號(hào)	WaveMaster? PRO 2 Wafer
應(yīng)用范圍	測(cè)量晶圓級(jí)鏡片的波前質(zhì)量
測(cè)量模式	透射式
空間分辨率	138×138
測(cè)量精度	<λ/20 (RMS)
測(cè)量重復(fù)性	<λ/200 (RMS)
動(dòng)態(tài)范圍	2000λ
測(cè)量頻率	12Hz
測(cè)量時(shí)間	< 3秒/顆
樣品口徑	6mm…14mm
樣品焦距	-12mm…50mm
光學(xué)波長(zhǎng)	532nm
樣品夾持器	托盤(pán)式，自動(dòng)定位晶體托盤(pán)（4”/6”/8”）自動(dòng)判定晶圓方向

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