OHARA高质量石英玻璃 | 联合光科
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OHARA高质量石英玻璃
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OHARA高质量石英玻璃
由于对光纤制造技术的传统VAD（气相轴向沉积）方法进行了重大改进，成功开发了合成熔融石英SK-1300系列。 与传统直接法相比，SK-1300系列纯度极高，OH含量低得多，因此它是第一种可用于半导体和液晶显示行业的合成熔融石英。
SK-1300系列在光学特性方面是最先进的技术，因为它提供了很高的分辨率紫外线透射，无微夹杂，耐日晒，此外还具有耐热性、机械强度和耐化学性。 这些产品可用于半导体、光学和所有物理或化学相关研究的各种工业应用。
可用于： 各种器件的晶片，如TFT（多晶硅薄膜晶体管LCD）、SOI（绝缘硅）等；超大规模集成电路和液晶显示器用光掩模基板；ULSI制造工艺用反应器炉管、夹具和工具；放电管；用于紫外和真紫外的光学元件，透镜，反射镜，窗口。

产品特点
1. 超高纯度（总金属杂质小于0.5ppm)；
2. OH含量可控制在1 ppm或以下（(SK-1310）；
3. 确保高耐热性；
4. 实现高传输(SK-1310在紫外线、可见光和红外的整个波长范围内都具有优异的特性)；
5. 不含气泡或条纹；
6. 优异的抗激光性能
OHARA高质量石英玻璃

最大尺寸(mm)

条纹

均匀性

双折射(nm/cm²)

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规格参数
最大尺寸(mm)
条纹
均匀性
双折射(nm/cm²)
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SK-1300
打开列表
Φ850 xt150
Class 1 Grade"A"
NS
≤10
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SK-1310
打开列表
Φ600xt150
Class 1 GradeHA
NS
未标明
请咨询
请咨询
SK-1320L
打开列表
Φ600 xt100
Class 1 Grade"A"
NS
≤5
请咨询
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SK-1321
打开列表
Φ500 xt150
Class 1 Grade"A"
1D≤2x10-6
≤3
请咨询
请咨询
SK-1321L
打开列表
Φ500 xt100
Class 1 Grade"A"
1D≤2x10-6
≤3
请咨询
请咨询
SK-1322
打开列表
Φ500 xt150
Class 3 Grade"A"
3D≤2x10-6
≤3
请咨询
请咨询
SK-1322L
打开列表
Φ500 xt100
Class 3 Grade"A"
3D≤2x10-6
≤3
请咨询
请咨询
等级 最大尺寸(mm) 条纹1) 均匀性2) 双折射2) 
(nm/cm²)		 气泡杂质3)
(mm²/100cm³)		 荧光4) 最佳透过范围(nm)
(>80%)
SK-1300 Φ850 xt150 Class 1
Grade"A"		 NS ≤10 0 ~ 0.03 NS 170~2500
SK-1320L5) Φ600 xt100 Class 1
Grade"A"		 NS ≤5 0 ~ 0.03 无 170~2500
SK-1321 Φ500 xt150 Class 1 Grade"A" 1D≤2x10-6 ≤3 0 ~ 0.03 NS 170~2500
SK-1321L5) Φ500 xt100 Class 1
Grade"A"		 1D≤2x10-6 ≤3 0 ~ 0.03 无 170~2500
SK-1322 Φ500 xt150 Class 3
Grade"A"		 3D≤2x10-6 ≤3 0 ~ 0.03 NS 170~2500
SK-1322L5) Φ500 xt100 Class 3 Grade"A" 3D≤2x10-6 ≤3 0 ~ 0.03 无 170~2500
SK-1310 Φ600xt150 Class 1 GradeHA" NS 未标明 0 ~ 0.03 NS 185~2700

NS： Not Specified
备注：
1） MIL-G-174定义
2） 有效面积为直径的90%。可根据要求提供高均匀性和双折射
3） 包含符合DIN58927定义的“A”级。
4） 能量密度≤30mJ/cm²入=248nm。可根据要求使用高能激光。
5） 耐久性∶30 mJ/cm²·200次激发后，≤0.1%/cm 在λ=248nm条件下，
High Quality Silica Glass SK1300 SK1310
光学品质 气泡 0~0.03mm²/100cm³ 0~0.03mm²/100cm³
纹理 保证一个方向测定为等级A（MIL-G-174） 保证一个方向测定为等级A（MIL-G-174）
应力双折射 10nm/cm以下 10nm/cm以下
荧光 无（激发波长254nm） /
物理特性 密度 2.2g/cm³ 2.20g/cm³
杨氏模量 71.4GPa 71.6GPa
扭转刚度 30.9GPa 31.4GPa
泊松比 0.17 0.17
抗压强度 1.1GPa 1.1GPa
抗弯强度 69MPa 69MPa
抗拉强度 55MPa 55MPa
维氏硬度 8.8~10.1GPa 8.8~10.1GPa
努普硬度 6.4~7.0GPa  
热膨胀系数 5.5×10-7/K 5.5×10-7/K
软化点 1700℃ 1700℃
徐冷点 1160℃ 1160℃
应变点 1060℃ 1060℃
比热（26℃） 0.74KJ/kg·K 0.74KJ/kg·K
热传导率 （26℃） 1.1W/m·K /
（100℃） 1.4W/m·K /
SK-1300 系列光谱曲线


SK1310光谱曲线


SK-1320L, SK-1321, SK-1321L, SK-1322, SK-1322L光谱曲线


内部透过率
Grade 内部透射率(%/cm) OH 含量(ppm) 其他杂质 (ppm)
193nm
(ArF)		 248nm
(KrF)		 365nm
(i)		 588nm
(d)		 633nm
(He-Ne)		 1060nm 1530nm 2325nm
SK-1300 ≥99.7 ≥99.9 ≥9.9 ≥99.9 ≥99.9 ≥99.9 ≥99.9 ≥99.4 ≤200 ≤0.05
SK-1320L ≥99.7 ≥99.9 ≥99.9 ≥99.9 ≥99.9 ≥99.9 ≥99.9 ≥99.4 ≤200 ≤O.05
SK-1321 ≥9.7 ≥9.9 ≥99.9 ≥99.9 ≥99.9 ≥99.9 ≥99.9 ≥99.4 ≤200 ≤0.05
SK-1321L ≥99.7 ≥9.9 ≥99.9 ≥9.9 ≥99.9 ≥9.9 ≥99.9 ≥99.4 ≤200 ≤0.05
SK-1322 ≥99.7 ≥99.9 ≥99.9 ≥99.9 ≥99.9 ≥99.9 ≥99.9 ≥99.4 ≤200 ≤0.05
SK-1322L ≥99.7 ≥99.9 ≥99.9 ≥99.9 ≥99.9 ≥9.9 ≥99.9 ≥99.4 ≤200 ≤0.05
SK-1310 ≥98.8 ≥99.9 ≥99.9 ≥99.9 ≥99.9 ≥99.9 ≥99.9 ≥99.8 ≤1 ≤0.05
碳化硅陶瓷

碳化硅陶瓷
进口CVD硒化锌（ZnSe）红外光学材料

进口CVD硒化锌（ZnSe）红外光学材料
进口CVD多光谱级硫化锌（ZnS MS）红外光学材料

进口CVD多光谱级硫化锌（ZnS MS）红外光学材料
红外玻璃-锗玻璃（Chalcogenide glasses）

红外玻璃-锗玻璃（Chalcogenide glasses）

我公司有两种类型的手册： 光学器件&光电仪器手册 和 视觉成像手册

光学器件&光电仪器手册：手册中的产品包括有：光学元件、激光元件、光机元件、运动控制、成像元件、光源&激光光源、光电器件、测量仪器、光学材料等。除了这些标准产品外，还提供大尺寸超精密平面光学元件定制、球面光学定制、非球面光学定制、成像镜头设计定制、光学设计定制以及精密角度元件定制。
 

视觉成像手册：手册中的产品包括有：定焦镜头、远心镜头、变焦变倍镜头、线扫镜头、短波近红外镜头（SWIR）、360°外侧环视镜头、VIS-NIR镜头、中继镜、增距镜，远红外镜头、相机等。除了标准镜头产品外，还提供镜头的设计与开发。
 

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1、通过邮箱：sales@gu-optics.com ，或电话：010-6211-2301 直接获取；

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