弹簧型模块式主动减振器 模块尺寸800×200×117mm | 联合光科

新品 弹簧型模块式主动减振器 模块尺寸800×200×117mm

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模块尺寸 800×200×117mm
单个负载能力 400kg
减振性能 60%@2Hz,99%@10Hz
传递率
隔振范围 1-1000Hz
减振器共振频率
调平方式 手动调平
控制自由度 3轴6自由度
执行器 音圈电机
最大推力 垂向:6N,水平向:3N
稳定时间 0.3s
电源 AC220V/50Hz
安装方式 推荐两端对称、矩形布置
减振器工作气压
机械硬限位
重量 150kg
模块式设计,能适用于更多需要安装配置的场合,外置控制箱。支撑分为弹簧型和气浮型,弹簧型主动减振适用于显微镜、光学设备、检测设备等静态设备。气浮型主动减振采用地面振动前馈与反馈控制相结合,提供出色的隔振效果;运动前馈与速度反馈控制结合,有效消减平台运动加速度,快速稳定平台振动。适用于光刻机等运动平台设备,消减大质量滑块运动带来的振动;半导体设备,及高精度、高速度加速度的精密运动平台等。
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